זהו מכשיר המסוגל לבצע הדמיית משטחים בעזרת סריקת המשטח עם גשש המכיל קצה חד מאוד (טיפ) בגודל ננומטרי בקצהו. קרן לייזר הפוגעת בחלק שמעל הטיפ מוחזרת לגלאי, ומשנה את מיקומה על גבי הגלאי בהתאם לתנועת הטיפ על גבי המשטח הנסרק. בליטה או בור במשטח יגרמו לקרן הלייזר לשנות את מיקומה, ובהתאם לכך ניתן יהיה לדעת מהי הטופוגרפיה של המשטח ברזולוציה ננומטרית. ניתן לסרוק את המשטח במספר שיטות. שיטה נפוצה היא ע"י שמירת כוח קבוע בין המשטח לטיפ. כשהטיפ מתקרב מספיק למשטח, יש משיכה או דחייה ביניהם (בהתאם לחומר הנסרק). אם סורקים את פני השטח ושומרים על כוח קבוע הפועל בין המשטח לטיפ, אז יתקבל מרחק קבוע שנשמר בין המשטח לטיפ, כך שקרן הלייזר תישמר במקום קבוע על הגלאי. לכן המשטח יזוז מעלה או מטה בהתאם לבליטות או לבורות. לפי תזוזת המשטח ניתן יהיה לדעת איך נראים פני השטח.
פרופ' ישעיהו טלמון ודוקטורנטית סיון פרל
הנדסה כימית
הטכניון
